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| 溅射功率对原位退火钴酸锂薄膜性能的影响 | |
| 作者单位： | 贵州大学材料与冶金学院,贵州贵阳550025 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金;贵州省教育厅青年科技人才成长项目;贵州省科技计划;贵州大学大学生创新创业训练计划 |
| 摘 要： | 本文采用射频磁控溅射技术,在高温下制备了原位退火的钴酸锂薄膜,并研究了溅射功率对其性能的影响。结果表明,随着溅射功率的增加,钴酸锂薄膜结晶颗粒长大,生长速率增加,首次放电比容量增大且循环性能提升。200W溅射制备的钴酸锂薄膜首次放电比容量可达47μAh·cm~(-2)μm~(-1),并表现出较好的循环性能。 |
| 关 键 词： | 钴酸锂薄膜 溅射功率 原位退火 比容量 循环性能 |
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