| 正交化制备ZnTe靶材试验研究 |
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| 作者单位： | 广东省薄膜材料工程技术研究中心,清远市薄膜材料工程技术研究中心,先导薄膜材料(广东)有限公司,广东清远511517;广东省薄膜材料工程技术研究中心,清远市薄膜材料工程技术研究中心,先导薄膜材料(广东)有限公司,广东清远511517;国家稀散金属工程技术研究中心,广东先导稀材股份有限公司,广东清远511517 |
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| 基金项目： | 国家稀散金属工程技术研究中心、广东省薄膜材料工程技术研究中心;清远市薄膜材料工程技术研究中心基金 |
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| 摘 要： | 以5N超细ZnTe粉体为原料,采用真空热压法对ZnTe靶材进行制备。以烧结压力、保温时间及烧结温度为实验因子,设计了L_9(3~4)正交化实验。研究表明,靶材的致密度随保温时间的增加而增加,但超过一定时间后,会出现反致密化现象;烧结温度具有一定的影响;而烧结压力对其影响较小。最终分析得出ZnTe靶材制备的最佳工艺在烧结压力为58 MPa、保温时间60 min、烧结温度820℃的真空热压条件下,ZnTe靶材的致密度可达99.5%。
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| 关 键 词： | ZnTe靶材 真空热压 正交实验 薄膜太阳能电池材料 |
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