| 高频等离子法制取超细Si_3N_4粉末 |
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| 引用本文： | 张智伯,谭益钦,邵国强,庄祎哲,朱清文,阎家坪,赵俊平. 高频等离子法制取超细Si_3N_4粉末[J]. 钢铁研究学报, 1990, 0(1) |
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| 作者姓名： | 张智伯 谭益钦 邵国强 庄祎哲 朱清文 阎家坪 赵俊平 |
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| 作者单位： | 钢铁研究总院(张智伯，谭益钦，邵国强，庄祎哲)，中国科学院力学研究所(朱清文，阎家坪)，中国科学院力学研究所(赵俊平) |
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| 摘 要： | 本文述及高频等离子法制取超细Si_3N_4粉末的原理、装置,工艺参数及粉末性能的一些检测结果。利用SiCl_4+NH_3气-气相反应,所得白色粉末含有NH_4Cl晶体,热重分析表明350℃失重停止,280℃失重速率最快,经400～700℃处理后的粉末仍为非晶,不含NH_4Cl,BET测得比表面积为75.8 m~2/g,X光小角度散射法测粒子半径分布主峰R为100～150,且符合正态对数分布规律,平均直径=527;1400℃处理后,X光衍射测得主相为α-Si_3N_4、次相为Si_2N_2O,粒径明显长大,平均直径达1700。
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| 关 键 词： | 高频等离子体 超细 粉末 非晶 晶化 |
PREPARATION OF ULTRAFINE Si_3N_4 POWDER BY R. F. PLASMA |
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| Zhang Zhibo,Tan Yiqin,Shao Guoqiang,Zhuang Yizhe,Zhu Qingwen,Yan Jiaping,Zhao Junping. PREPARATION OF ULTRAFINE Si_3N_4 POWDER BY R. F. PLASMA[J]. Journal of Iron and Steel Research, 1990, 0(1) |
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| Authors: | Zhang Zhibo Tan Yiqin Shao Guoqiang Zhuang Yizhe Zhu Qingwen Yan Jiaping Zhao Junping |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | R. F. plasma ultrafine powder amorphous crystallization. |
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