| 基于驻极体的低功耗非接触式电压测量技术北大核心CSCD |
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| 引用本文： | 李嘉晨,刘向明,刘俊,高雅浩,彭思敏,张洲威,毋正伟,郑凤杰,任仁,彭春荣.基于驻极体的低功耗非接触式电压测量技术北大核心CSCD[J].仪表技术与传感器,2022(7):117-122. |
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| 作者姓名： | 李嘉晨 刘向明 刘俊 高雅浩 彭思敏 张洲威 毋正伟 郑凤杰 任仁 彭春荣 |
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| 作者单位： | 1.中国科学院空天信息创新研究院传感技术国家重点实验室100190;2.中国科学院大学电子电气与通信工程学院100049; |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目(62031025,61971398)；中国科学院科研仪器设备研制项目资助(YJKYYQ20200026,GJJSTD20210004)。 |
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| 摘 要： | 针对低功耗、高性能非接触式电压测量的需求,提出一种基于驻极体电容结构的非接触式电压测量技术。驻极体电容结构由正面蒸发有金属导电薄膜的驻极体薄膜、绝缘衬圈和金属电极构成,通过理论分析和有限元仿真,得到传感器的输出响应关系,并通过搭建实验测试平台对传感器进行性能测试。测试结果表明,传感器输出响应特性与理论分析吻合,并具有较好的线性度和重复性,在施加600、800、1 000 Hz被测电压条件下,传感器的线性度分别达到6.1%、3.5%、2.7%,重复性分别达到9.67%、 5.93%、5.46%。
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| 关 键 词： | 低功耗 驻极体薄膜 非接触式电压测量 电压传感器 电场测量 |
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