|
|||||
|
|
| 角分辨XPS测定极薄金膜的厚度和覆盖率 | |
| 引用本文： | 庞重军,白明武,严洁,王博,林义民. 角分辨XPS测定极薄金膜的厚度和覆盖率[J]. 材料科学与工程学报, 2007, 25(3): 349-352 |
| 作者姓名： | 庞重军 白明武 严洁 王博 林义民 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000;茂名学院,广东,茂名,525000;中国科学院研究生院,北京,100039 2. 中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000 3. 中国科学院兰州化学物理研究所,固体润滑国家重点实验室,甘肃,兰州,730000;中国科学院研究生院,北京,100039 |
| 基金项目： | 国家自然科学基金委创新群体研究基金 , 中国科学院"百人计划" |
| 摘 要： | 极薄薄膜的覆盖率有时难以用常规方法定量表征.本文提出了一套以单层薄膜的角分辨X射线光电子能谱(ARXPS)模型测定极薄薄膜的厚度h,以恰好不再能检测到基底信号的光电子出射角(TOA)为最小基底信号起飞角θmin,以最大裸露线宽L=h/tgθmin为直径的圆形裸露区模型估算薄膜覆盖率的新方法.将该方法应用于热蒸镀法在羟基化硅基底上制备的极薄的岛状金膜,当TOA＞17.5°时Au 4f的峰强变化与单层膜的ARXPS模型吻合得很好;当TOA＜7.5°时不再能检出基底信号;测得金膜的厚度为16.0±0.4?,金膜覆盖率为～92%. |
| 关 键 词： | 材料检测与分析技术 薄膜厚度 覆盖率 ARXPS 金膜 |
| 文章编号： | 1673-2812（2007）03-0349-04 |
| 收稿时间： | 2006-08-30 |
| 修稿时间： | 2006-08-302006-10-07 |
Film Thickness and Coverage Rate of Extremely-thin Gold Films Determined by Angle-resolved XPS |
|
| PANG Chong-jun,BAI Ming-wu,YAN Jie,Wang Bo,LIN Yi-min. Film Thickness and Coverage Rate of Extremely-thin Gold Films Determined by Angle-resolved XPS[J]. Journal of Materials Science and Engineering, 2007, 25(3): 349-352 | |
| Authors: | PANG Chong-jun BAI Ming-wu YAN Jie Wang Bo LIN Yi-min |
| Abstract: | |
| Keywords: | measuring and analysis for materials thin-film thickness coverage rate ARXPS gold film |
| 本文献已被 CNKI 万方数据 等数据库收录！ | |