| 压力传感器输出的非线性拟合方法 |
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| 引用本文： | 吕惠民,雷天民,吴民强. 压力传感器输出的非线性拟合方法[J]. 半导体技术, 2001, 26(8): 11-14 |
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| 作者姓名： | 吕惠民 雷天民 吴民强 |
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| 作者单位： | 西安理工大学应用物理系 |
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| 摘 要： | 在讨论了压力传感器非线性输出误差分布规律的基础上，提出了非线性拟合方法，介绍子误差修正即拟合因子中三个基本参量（A，ω，φ ）的取值方法，通过对两个压力传感器实际输出数据的修正，使其线性度分别由拟合并的1．89％、2．06％降低为拟合后的0．69％、0．33％。
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| 关 键 词： | 压力传感器 误差分布 线性度 非线性拟合 |
| 文章编号： | 1003-353X(2001)08-0011-04 |
| 修稿时间： | 2001-04-03 |
A fitting method of non-linearity of pressure sensors output |
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| L Hui-min, LEI Tian-min, WU Min-qiang. A fitting method of non-linearity of pressure sensors output[J]. Semiconductor Technology, 2001, 26(8): 11-14 |
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| Authors: | L Hui-min LEI Tian-min WU Min-qiang |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | pressure sensors error distribution linearsity |
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