| PECVD制备Al-Al2O3复合阻氢涂层的研究 |
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| 引用本文： | 银陈,陈长安,张鹏程.PECVD制备Al-Al2O3复合阻氢涂层的研究[J].表面技术,2008,37(3):41-43,48. |
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| 作者姓名： | 银陈 陈长安 张鹏程 |
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| 作者单位： | 表面物理与化学国家重点实验室,四川绵阳,621700;表面物理与化学国家重点实验室,四川绵阳,621700;表面物理与化学国家重点实验室,四川绵阳,621700 |
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| 摘 要： | 为了提高不锈钢的阻氢性能,利用PECVD(等离子体增强化学气相沉积)技术在不锈钢表面上制备了Al薄膜,经真空热氧化处理(480℃)获得了Al-Al2O3复合薄膜.用表面分析手段SEM、 XRD、 EDS和XPS对所制备涂层的表面形貌、相结构、表面成分、表面元素的化学态进行了分析,并对其进行了阻氘性能研究.结果表明:该技术能够获得均匀、致密复合薄膜;在低于350℃时,阻氘效果非常好,几乎没有渗透,在350℃到450℃之间,阻氘因子能够达到250左右,但在高于450℃后,渗透非常明显.
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| 关 键 词： | PECVD 复合薄膜 阻氘因子 Al-Al2O3 |
| 收稿时间： | 4/3/2008 12:00:00 AM |
| 修稿时间： | 2008/6/10 0:00:00 |
Research of Al-AI203 Resisting Hydrogen Cmposite Films Prepared by PECVD |
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| YIN Chen,CHEN Chang-an and ZHANG Peng-cheng.Research of Al-AI203 Resisting Hydrogen Cmposite Films Prepared by PECVD[J].Surface Technology,2008,37(3):41-43,48. |
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| Authors: | YIN Chen CHEN Chang-an and ZHANG Peng-cheng |
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| Affiliation: | State key Laboratory of Surface Physics and Chemistry, Mianyang 621900, China,State key Laboratory of Surface Physics and Chemistry, Mianyang 621900, China and State key Laboratory of Surface Physics and Chemistry, Mianyang 621900, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | PECVD Composite films PRF Al-Al203 |
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