| 单晶Si材料表面碱织构实验研究 |
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| 引用本文： | 陈刚,马逊,刘祖明,廖华,李景天,刘剑虹. 单晶Si材料表面碱织构实验研究[J]. 半导体技术, 2010, 35(2): 137-141. DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2010.02.010 |
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| 作者姓名： | 陈刚 马逊 刘祖明 廖华 李景天 刘剑虹 |
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| 作者单位： | 云南师范大学,能源与环境科学学院,昆明,650092;云南师范大学,能源与环境科学学院,昆明,650092;教育部可再生能源材料先进技术与制备重点实验室,昆明,650092;云南省农村能源工程重点实验室,昆明,650092 |
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| 基金项目： | 云南师范大学太阳能研究所省部级重点实验室和省级重点学科联合研究基金(KJ2008004) |
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| 摘 要： | 在利用单晶Si材料制备太阳电池的过程中,通常利用碱溶液各向异性腐蚀的特性,在表面形成类似于金字塔的绒面结构,降低太阳电池表面反射,提高太阳电池的转换效率。实验采用固定反应温度以及反应时间,调整NaOH溶液的质量分数和无水乙醇的体积分数,通过测量不同实验条件下样品的表面反射率和观察扫描电镜图像,最终得到较好的单晶Si太阳电池表面织构条件。最后分析NaOH溶液的质量分数和无水乙醇的体积分数对表面织构的影响,同时给出测量表面减反射率结果。该结论对工业化单晶Si太阳电池表面织构的制备具有一定的指导意义。
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| 关 键 词： | 太阳电池 金字塔 表面织构 表面反射率 |
Research on Monocrystalline Silicon Surface Etching |
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| Chen Gang,Ma Xun,Liu Zuming,Liao Hua,Li Jingtian,Liu Jianhong. Research on Monocrystalline Silicon Surface Etching[J]. Semiconductor Technology, 2010, 35(2): 137-141. DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2010.02.010 |
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| Authors: | Chen Gang Ma Xun Liu Zuming Liao Hua Li Jingtian Liu Jianhong |
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| Affiliation: | 1.College of Energy and Environmental Science;Yunnan Normal University;Kunming 650092;China;2.Key Laboratory of Renewable Energy Advanced Materials and Manufacturing Technology;Education Ministry;3.Yunnan Provincial Key Laboratory of Renewable Energy Engineering;China |
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| Abstract: | Alkaline solution is often used to etch surface of monocrystalline Si solar cell in order to increase efficiency.Usually the pyramids will be formed on the surface of Si wafers after etching,and these pyramids can trap the light and then reduce surface reflectivity.The conditions of surface etching by changing concentration of sodium hydroxide(NaOH) and ethanol,fixing acting time and temperature were researched.The optimal conditions of the samples were found and observed by measuring surface reflectivity a... |
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| Keywords: | solar cell pyramid surface etching surface reflectivity |
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