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激光束角漂移对频激光直线度测量的影响
作者姓名:
于瀛洁 张之江
摘 要:
利用惠更斯关于波面传播的理论,分析计算了双频激光渥拉斯顿棱镜直线度测量系统中激光束角漂移以及渥拉斯顿棱镜和双面反射镜倾角对测量精度的影响,得到了相应的结论。
关 键 词:
双频激光干涉仪 直线度测量 激光束角漂移
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