双焦干涉球面微观轮廓仪

本文论述一种高分辨率的球面微观轮廓仪，仪器三部分组成：双焦透镜偏振共路干涉系统，五维球面扫描工作台及其驱动系统；共模抑制电子处理系统。可用于各种球形表面的无损精密材料。实测结果表明该仪器的纵向分辨率可达０．１ｍｍ，横向分辨率小于２μｍ。