紫外辐照增强TiO_2纳米棒阵列薄膜氢气传感器性能研究

氢气传感器的研究对于未来绿色环保氢能源经济的发展有重要意义,提高氢气传感器在室温下对H_2响应的灵敏度是降低传感器成本、提升器件稳定性、拓展传感器应用领域的关键。基于TiO_2纳米棒阵列薄膜的H_2传感器具有成本低廉、易于制备、性能稳定等优点,前期研究已经实现器件的室温稳定工作,使用UV辐照TiO_2纳米棒阵列薄膜,采用XPS分析辐照前后薄膜表面的化学状态,研究了UV辐照对薄膜氢气敏感性能的影响。结果表明,UV辐照可以减少传感器表面污染,增加TiO_2纳米棒阵列薄膜表面氧空位,显著提高传感器对H_2的灵敏度。