| 硅基热线式气敏元件及其特性?? |
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| 引用本文： | 全宝富,金丽妍,金海英,孙良彦,孙承松.硅基热线式气敏元件及其特性??[J].传感技术学报,1999,12(3):206-209. |
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| 作者姓名： | 全宝富 金丽妍 金海英 孙良彦 孙承松 |
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| 作者单位： | 吉林大学电子工程系!长春130023(全宝富，金丽妍，金海英，孙良彦)，沈阳工业大学电子工程系!沈阳110023(孙承松) |
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| 摘 要： | 利用射频溅射在硅衬底上制作Ｐｔ膜电极，以溶胶－凝胶法制作的低阻ＳｎＯｘ为敏感层制成平面热线式气敏元件。研究了工艺条件，掺杂行为及其对气敏特性的影响，掺Ｓｂ及Ｐｔ石棉在７００℃烧结１．５ｈ的元件对Ｈ２，ＮＨ３灵敏度较高。
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| 关 键 词： | 气敏元件 硅 平面热线式 气敏特性 |
Gas Sensor with Sillicon Substrate in Heat-Wire Type and Its Characteristics |
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| Quan Baofu,Jin Liyan,Quan Haiying,Sun Liangyan,Sun Chengsong.Gas Sensor with Sillicon Substrate in Heat-Wire Type and Its Characteristics[J].Journal of Transduction Technology,1999,12(3):206-209. |
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| Authors: | Quan Baofu Jin Liyan Quan Haiying Sun Liangyan Sun Chengsong |
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| Affiliation: | Dept. of Electronic Engineering. Jilin Univ. |
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| Keywords: | gas sensor silicon planar heat--wire type gas--sensitive characteristics |
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