用PLC实现的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统

设计的磁溅式三靶真空镀膜机控制系统，采用三菱PLC和EasyView触摸屏，具有参数设置、工艺流程控制、故障报警、保护等功能，文中介绍了PLC控制系统硬件与软件结构，以及对靶单元实现闭环控制，获得稳定靶电流情况。