RF放电中对低损伤等离子体处理的离子能量的控制 |
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引用本文: | Sato,N 晨亮.RF放电中对低损伤等离子体处理的离子能量的控制[J].国外核聚变与等离子体应用,1996(4):72-76. |
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作者姓名: | Sato N 晨亮 |
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摘 要: | 一种控制离子能量的新技术建立在用一个辅助等离子体源把电子从外部注入到民容耦合的rf等离子体的基础上。外部注入的电子以代携带rf电流的等离子体电子,然后重建rf鞘,其中离子被加速。实验是用一个配有一个磁控管放电等离子体源的平行板rf等离子体装置来的,此源安装在网状接地电极的后面。
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关 键 词: | 低损伤 等离子体处理 离子能量控制 射频放电 |
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