离子束辅助沉积光学薄膜综述

本文综述了离子辅助沉积光学薄膜的现状。讨论了各种离子源及其相对的优缺点。接着讨论了当今用于解释这一过程中离子－表面相互作用的各种理论模型，最后讨论了用离子辅助沉积得到的氧化物薄膜的性质。