提高整机套刻精度的软件处理方法

套刻精度是衡量分步重复投影光刻机的一项重要指标。套刻精度不仅取决于对准系统的对准精度，还受环境、工艺等因素的影响。提出了提高光刻机整机套刻精度的几种软件修正处理方法，通过工艺实验和考核，取得了比较满意的结果，证明了这些方法的可行性。