| 大面积扫描探针显微镜研制 |
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| 引用本文： | 路小波,陆祖宏,周庆,王国著. 大面积扫描探针显微镜研制[J]. 中国工程科学, 2004, 6(9): 50-55 |
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| 作者姓名： | 路小波 陆祖宏 周庆 王国著 |
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| 作者单位： | 1. 东南大学智能运输系统研究中心,南京,210096
2. 东南大学分子与生物分子电子学教育部重点实验室,南京,210096 |
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| 基金项目： | “九五”国家科技攻关项目(96745-03-01) |
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| 摘 要： | 介绍了一种大面积扫描探针显微镜。仪器采用大范围扫描与高精度微动扫描相分离、X-Y扫描与纵向检测相分离的方案，同时具备较大扫描范围和较高的分辨率，扫描重复性好，大面积扫描范围220mm×290 mm×60 mm，重复性2～3 μm，并可实现探针的自动逼近、光学显微镜自动聚焦和图像自动拼接。
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| 关 键 词： | 扫描探针显微镜；自动逼近；自动聚焦；图像拼接 |
| 文章编号： | 1009-1742(2004)09-0050-06 |
| 收稿时间： | 2003-07-10 |
| 修稿时间： | 2003-07-10 |
Large Scale Scanning Probe Microscope |
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| luxiaobo,luzuhong,zhouqing and wangguozhu. Large Scale Scanning Probe Microscope[J]. Engineering Science, 2004, 6(9): 50-55 |
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| Authors: | luxiaobo luzuhong zhouqing wangguozhu |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | scanning probe microscope auto-feeding auto-focusing image mosaicking |
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