| 曲折状CoFeSiB三明治薄膜及其巨磁阻抗效应 |
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| 引用本文： | 张桂林,周勇,周志敏.曲折状CoFeSiB三明治薄膜及其巨磁阻抗效应[J].电子元件与材料,2007,26(8):16-19. |
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| 作者姓名： | 张桂林 周勇 周志敏 |
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| 作者单位： | 上海交通大学,微纳科学技术研究院,微米/纳米加工技术国家重点实验室,薄膜与微细技术教育部重点实验室,上海,200030 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金
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国家高技术研究发展计划(863计划)
,
上海市纳米科技专项基金
,
上海市应用材料研究与发展项目 |
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| 摘 要： | 利用射频磁控溅射技术及MEMS技术,制备了曲折状三明治结构的CoFeSiB/Cu/CoFeSiB多层膜,在l～40 MHz频率下,研究了多层膜的纵向和横向巨磁阻抗效应以及相应的电阻、电抗变化率。结果表明:曲折状三明治结构多层膜的巨磁阻抗效应,比单层膜有较大的提高,纵向和横向最大GMI效应分别为12.2%和–18.6%。
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| 关 键 词： | 电子技术 CoFeSiB/Cu/CoFeSiB 巨磁阻抗 曲折状结构 三明治薄膜 MEMS |
| 文章编号： | 1001-2028（2007）08-0016-04 |
| 修稿时间： | 2007-03-22 |
Giant magneto-impedance effect in CoFeSiB/Cu/CoFeSiB sandwich thin films with a meander line structure |
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| ZHANG Gui-lin,ZHOU Yong,ZHOU Zhi-min.Giant magneto-impedance effect in CoFeSiB/Cu/CoFeSiB sandwich thin films with a meander line structure[J].Electronic Components & Materials,2007,26(8):16-19. |
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| Authors: | ZHANG Gui-lin ZHOU Yong ZHOU Zhi-min |
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| Abstract: | Sandwich CoFeSiB/Cu/CoFeSiB multilayer films with a meander line structure were prepared on glass substrate by RF magnetron sputtering and MEMS technology.The longitudinal and transverse gaint magneto-impedance(GMI) effects were respectively studied in the frequency range of 1~40 MHz.Experimental results show that the GMI effect is stronger in the sandwich CoFeSiB/Cu/CoFeSiB films with a meander line structure than its single layer film,and the maximum GMI effects are respectively 12.2 % and-18.6 % in longitudinal and transverse cases. |
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| Keywords: | electron technology CoFeSiB/Cu/CoFeSiB giant magneto-impedance meander line structure sandwich thin films MEMS |
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