蓝宝石上生长的高质量碲化镐外延薄膜

用金属有机化学汽相沉积(OMCVD)方法在(0001)取向的蓝宝石衬底上生长了CdTe薄膜。X射线衍射研究表明,生长的CdTe单晶为(111)方向。典型的生长速率为2～5μm/h。经适当的退火处理后,测得室温下薄膜的迁移率高达950cm~2V~(-1) s~(-1),77K时为1600cm~2V~(-1) s~(-1)。