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自动测量高精度量块的JLG型激光干涉仪
作者姓名:
JLG激光干涉仪课题组
摘 要:
JLG型激光干涉仪是自动测量高精度量块的新型干涉仪,它采用了稳频激光、电子数显、白光干涉自动定位、空心立体棱镜和自动控制等先进技术。实验表明,它的极限误差达到△_(Iim)=±(0.03+0.2L)微米,L是被检量块的长度,单位为米。
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