自动测量高精度量块的JLG型激光干涉仪

JLG型激光干涉仪是自动测量高精度量块的新型干涉仪,它采用了稳频激光、电子数显、白光干涉自动定位、空心立体棱镜和自动控制等先进技术。实验表明,它的极限误差达到△_(Iim)=±(0.03+0.2L)微米,L是被检量块的长度,单位为米。