Atotech开发成功超薄材料处理设备

Atotech的Chemcut设备集团(在美国)已成功推出超薄材料处理设备—Sigma系列及547×L湿处理设备。 在显影及蚀刻过程中,线条,尤其是细线条的边缘一致性与传送系统的设计有密切关系。Chemcut的超薄传送系统能保证高合格率及较好的一致性。