| 射频/直流磁控溅射不锈钢/Al_2O_3复合薄膜组织与性能研究 |
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| 引用本文： | 温伟祥,胡社军,曾鹏,吴起白,谢光荣,黄拿灿,胡显奇,盛钢,盛忠.射频/直流磁控溅射不锈钢/Al_2O_3复合薄膜组织与性能研究[J].新技术新工艺,2001(2). |
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| 作者姓名： | 温伟祥 胡社军 曾鹏 吴起白 谢光荣 黄拿灿 胡显奇 盛钢 盛忠 |
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| 作者单位： | 广东工业大学!(510643)(温伟祥，胡社军，曾鹏，吴起白，谢光荣，黄拿灿)，深圳黄金屋真空科技有限公司!(518053)(胡显奇，盛钢，盛忠) |
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| 基金项目： | 国家 8 6 3计划! (86 3- 715 - 0 0 6 - 0 190 )，广东教育厅重点项目资助! (975 1 |
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| 摘 要： | 利用射频 /直流磁控溅射法 ,制备了 31 6L不锈钢 /Al2 O3 陶瓷复合薄膜 ,研究了 31 6L不锈钢 /Al2 O3 陶瓷复合膜的组织形貌 ,测试了薄膜的显微硬度和耐磨性。结果表明 :直流磁控溅射 31 6L不锈钢薄膜呈柱状晶结构 ,主要有 Fe- Cr和γ- Fe相构成 ,在 Fe- Cr( 1 1 0 )晶面出现明显的择优取向 ;由于射频溅射 Al2 O3 陶瓷的掺合 ,使 31 6L不锈钢 /Al2 O3 陶瓷复合薄膜柱状晶细化 ,并出现二次柱状晶 ,在 Fe- Cr( 2 1 1 )晶面出现明显的择优取向 ,31 6L不锈钢膜硬度明显高于 31 6L块体 ,掺合了 Al2 O3 的金属 /陶瓷复合薄膜耐磨性有显著的提高。
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| 关 键 词： | 射频/直流磁控溅射 不锈钢/Al2O3薄膜 组织与性能 |
Research on Microstructure and Properties of Stainless Steel/Al_2O_3 Ceramic Composite Film Prepared by RF/DC Sputtering |
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| Guangdong University of Technology Wen Weixiang Hu Shejun Zeng Peng Wu Qibai Xie Guangrong Huang Nacan Shezhen Goldenhouse Vacuum Technology Co.,Ltd Hu Xianqi Sheng Gang Sheng Zhong.Research on Microstructure and Properties of Stainless Steel/Al_2O_3 Ceramic Composite Film Prepared by RF/DC Sputtering[J].New Technology & New Process,2001(2). |
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| Authors: | Guangdong University of Technology Wen Weixiang Hu Shejun Zeng Peng Wu Qibai Xie Guangrong Huang Nacan Shezhen Goldenhouse Vacuum Technology Co Ltd Hu Xianqi Sheng Gang Sheng Zhong |
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| Keywords: | RF/DC sputtering stainless steel/Al 2O 3 ceramic composite film microstructure and properties |
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