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热处理对溶胶-凝胶TiO2薄膜的晶相转变和性能影响
引用本文:程银兵,马建华,吴广明,沈军,王珏.热处理对溶胶-凝胶TiO2薄膜的晶相转变和性能影响[J].功能材料,2003,34(1):73-75.
作者姓名:程银兵  马建华  吴广明  沈军  王珏
作者单位:同济大学,波耳固体物理研究所,上海,200092
基金项目:国家自然科学基金,69978017,
摘    要:以钛酸丁酯(TPOT)为有机醇盐前驱体,采用溶胶-凝胶技术制备了TiO2溶胶。为测量方便起见,分别制备了凝胶粉体和薄膜,并对样品进行了不同温度的热处理。X射线衍射(XRD)、椭偏仪和紫外-可见光谱(UV-vis)的测量表明:随热处理温度的升高,TiO2的结构由非晶到锐钛矿再到金红石相转变,400℃为锐钛矿相,600℃开始出现金红石相,800℃完全转变为金红石相;晶粒尺寸随热处理温度的升高而逐渐增大,锐钛矿结构的晶粒尺寸范围是2.5-5.5nm,金红石结构的晶粒尺寸范围是5.9-6.8nm;TiO2薄膜的折射率随热处理温度的升高而增大,同时薄膜厚度降低;禁带宽度随热处理温度的升高而增大,同时薄膜厚度降低;禁带宽度随热处理温度升高而变窄,锐钛矿结构的禁带宽度为3.45eV,而金红石结构的禁带宽度为3.30eV。

关 键 词:热处理  性能  薄膜  溶胶-凝胶  二氧化钛  晶相转变
文章编号:1001-9731(2003)01-0073-03
修稿时间:2002年2月22日

Influence of heat treatment on the properties and crystal phase transfer of TiO2 gel films
Abstract:
Keywords:sol-gel process  TiO_2 thin film  crysatal phase transfer
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