| 钯-铂双层覆膜聚酰亚胺的CECVD制备与表征 |
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| 引用本文： | 郑建华,冯文芳,周锦兰,田熙科,俞开潮.钯-铂双层覆膜聚酰亚胺的CECVD制备与表征[J].稀有金属材料与工程,2008,37(5):918-921. |
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| 作者姓名： | 郑建华 冯文芳 周锦兰 田熙科 俞开潮 |
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| 作者单位： | 1. 中国地质大学,湖北,武汉,430074
2. 华中科技大学,湖北,武汉,430074 |
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| 摘 要： | 以N2、O2作载气,采用催化增强化学气相沉积(CECVO)法,于250～300℃和减压/常压下制得沉积于聚酰亚胺(PI)上的Pt,Pd/Pt和Pt/Pd金属双层薄膜.当使用Pd(hfac)2和Pt(COD)Me2为前驱体,在同一反应器内共沉积时只有Pt被沉积(钯配合物起催化剂作用),金属铂、钯顺序沉积可形成双层膜.经XPS和SEM分析了所得沉积膜的表面结构与相组成.结果表明:所有沉积层与PI衬底的粘附性能良好;沉积速率为70～80nm/h,钯、铂粒径分别为100nm和100～150nm.
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| 关 键 词： | 聚酰亚胺 催化增强化学气相沉积 铂薄膜 钯-铂双层膜 表征 覆膜 聚酰亚胺 制备与表征 Polyimide Films Bilayer Characterization 粒径 沉积速率 粘附性能 沉积层 结果 相组成 表面结构 沉积膜 分析 双层膜 顺序沉积 金属铂 作用 |
Preparation and Characterization of Palladium-Platinum Bilayer Films on Polyimide by Catalyst-Enhanced CVD |
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| Zheng Jianhu,Feng Wenfang,Zhou Jinlan,Tian Xike,Yu Kaichao.Preparation and Characterization of Palladium-Platinum Bilayer Films on Polyimide by Catalyst-Enhanced CVD[J].Rare Metal Materials and Engineering,2008,37(5):918-921. |
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| Authors: | Zheng Jianhu Feng Wenfang Zhou Jinlan Tian Xike Yu Kaichao |
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