|
|||||
|
|
| 热驱动力微型泵的实验研究 | |
| 作者姓名： | 尹执中 庞江涛 |
| 作者单位： | [1]清华大学工程力学系 [2]清华大学微电子所 |
| 摘 要： | 本文对热驱动微型泵在空载和有负载情况下的性能进行了实验研究。空载情况下，在所测频率范围内，膜片的振幅随频率减小，但泵腔的体积变化率随频率基本不变；随着加热功率的增加，膜片平衡位置逐渐远离其静止位置，当功率足够大时，膜片平衡位置的变化减缓，振幅变化也将减缓。实验测定了有负载情况下泵的频率特性溶解的东对应于最大流量的频率为３１Ｈｚ；实测了流量随加热功率的变化，当功率较小时，流量缓慢变化，当功率较大时， |
| 关 键 词： | 微型机械 微型泵 传热 流动 热驱动 |
| 本文献已被 维普 等数据库收录！ | |