半导体硅材料厂工艺设计中的污染控制技术

文章介绍了洁净技术与洁净室设计的主要内容，论述了洁净工艺设计与集成电路制造工艺微细化尺度趋势间的关系，着重介绍了工艺设计中的污染控制技术及当今世界实践趋势。