|
|||||
|
|
| 大容量石英坩埚使用的研究 | |
| 引用本文： | 朱克皓,宋大有,夏锦禄,姜治平,黄世金.大容量石英坩埚使用的研究[J].上海有色金属,1985(2). |
| 作者姓名： | 朱克皓 宋大有 夏锦禄 姜治平 黄世金 |
| 作者单位： | 上海有色金属研究所，上海有色金属研究所，上海有色金属研究所，上海有色金属研究所，上海有色金属研究所 |
| 摘 要： | 本文简述了DL-78型大直径、大容量直拉硅单晶工艺中石英坩埚的使用情况,对石英坩埚形状、尺寸的确定,原材料类别的选择、其杂质含量对硅单晶的影响,使用后被浸蚀情况进行了探讨,提出了对石英坩埚应力的检测方法及消除应力的热处理方法,测定了其中拉晶过程中的熔解速率。提出了一只坩埚多次投料使用的可能性。 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |