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| 纳米压印中聚合物界面行为的分子动力学 | |
| 作者姓名： | 熊孝东 魏正英 杜军 丁玉成 |
| 作者单位： | 机械制造系统工程国家重点实验室(西安交通大学) |
| 基金项目： | 国家自然科学基金资助项目(50975227);全国博士学位论文作者专项资金(200740);国家自然基金重大研究计划(90923040);长江学者和创新团队发展计划(IRT0646)资助 |
| 摘 要： | 在纳米压印中,模具和聚合物之间的相互作用能对压()特征的图型转移质量有着重要影响,文中利用分子动力学分别选择聚二甲基硅氧烷(PDMS),聚乙烯(PE),聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)研究了他们和模具壁面之间在不同距离时,壁面和聚合物之间相互作用能的变化关系,并考虑聚合物填充过程中压强对模具壁面和聚合物之间相互作用的影响,... |
| 关 键 词： | 纳米压印 分子动力学 聚合物 吸附 相互作用能 |
| 本文献已被 CNKI 等数据库收录！ | |