| 128×128短波/中波双色红外焦平面探测器 |
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| 作者姓名： | 叶振华 尹文婷 黄建 胡伟达 陈路 廖亲君 陈洪雷 林春 胡晓宁 丁瑞军 何力 |
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| 作者单位： | 中国科学院上海技术物理研究所,红外成像材料与器件重点实验室,上海,200083;中国科学院上海技术物理研究所,红外成像材料与器件重点实验室,上海,200083;中国科学院研究生院,北京,100039 |
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| 基金项目： | 国家自然科学基金项目（面上项目,重点项目,重大项目） |
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| 摘 要： | 首次在国内报道了128×128面阵短波/中波(SW/MW)双色碲镉汞(HgCdTe)红外焦平面探测器(infraredfocal plane arrays,IRFPAs)的研究成果.基于由采用分子束外延(MBE)和原位掺杂技术生长的p-p-P-N型碲镉汞(Hg1-xCdxTe)多层异质结材料,通过B+注入、台面腐蚀、台面侧向钝化和爬坡金属化,以及双色探测芯片与读出电路(Readout Integrated Circuit,ROIC)混成互连等工艺,得到了128×128面阵双色焦平面探测器.通过湿化学腐蚀方法的优化,将光敏元尺寸为(50×50)μm2的双色微台面探测器的占空比提高了一倍.该面阵双色红外焦平面探测器具有较好的均匀性和正常的光电特性.在液氮温度下,二个波段的光电二极管截止波长λc分别为2.7μm和4.9μm,对应的峰值探测率Dλ*p分别为1.42×1011cmHz1/2/W和2.15×1011cmHz1/2/W.
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| 关 键 词： | HgCdTe 湿化学腐蚀方法 双色微台面隔离 峰值探测率 |
| 收稿时间： | 2009-08-25 |
| 修稿时间： | 2010-05-31 |
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