| ZAO/metal/ZAO多层膜光学性能优化设计 |
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| 引用本文： | 李镇涛,王振家,赵大庆. ZAO/metal/ZAO多层膜光学性能优化设计[J]. 材料科学与工程学报, 2004, 22(4): 495-497 |
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| 作者姓名： | 李镇涛 王振家 赵大庆 |
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| 作者单位： | 清华大学机械工程系,北京,100084 |
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| 摘 要： | 为获得高质量的透明导电薄膜,采用计算机辅助,对ZAO/metal/ZAO多层膜系统进行最优化设计.应用基于薄膜特性矩阵的分析方法,计算包含吸收膜的多层膜系的光学特性,并以整个膜系在可见光区内的光透射系数作为最优化设计的准则.根据优化结果,以磁控溅射方法在玻璃基片上逐次溅射ZAO,metal,ZAO薄膜,最终获得可见光区内最高透光率为86.6%,方电阻为6.5Ω/□左右的多层膜.
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| 关 键 词： | 最优化设计 光透射系数 透光率 metal 多层膜 光学性能 优化设计 Optical Properties Optimization 方电阻 高透光率 薄膜特性矩阵 玻璃基片 溅射方法 磁控 优化结果 准则 光透射系数 可见光 光学特性 膜系统 吸收膜 计算包 |
| 文章编号： | 1004-793X(2004)04-0495-03 |
| 修稿时间： | 2003-09-10 |
Optimization of Optical Properties of ZAO/metal/ZAO Multilayers |
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| LI Zhen-tao,WANG Zhen-jia,ZHAO Da-qing. Optimization of Optical Properties of ZAO/metal/ZAO Multilayers[J]. Journal of Materials Science and Engineering, 2004, 22(4): 495-497 |
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| Authors: | LI Zhen-tao WANG Zhen-jia ZHAO Da-qing |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | optimization maximum luminous transmittance transmission |
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