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| 磨削方式对锗片边缘质量的影响 | |
| 引用本文： | 何远东,张伟才,杨洪星,韩焕鹏.磨削方式对锗片边缘质量的影响[J].电源技术,2019,43(7). |
| 作者姓名： | 何远东 张伟才 杨洪星 韩焕鹏 |
| 作者单位： | 中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津,300220;中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津,300220;中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津,300220;中国电子科技集团公司第四十六研究所,天津,300220 |
| 摘 要： | |
| 关 键 词： | 锗片 减薄 磨削 内应力 边缘质量 |
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