| 用于微结构探测的并行共焦光学结构的研究 |
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| 引用本文： | 刘文文,余晓芬,余卿,毕美华.用于微结构探测的并行共焦光学结构的研究[J].仪器仪表学报,2009,30(6). |
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| 作者姓名： | 刘文文 余晓芬 余卿 毕美华 |
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| 作者单位： | 合肥工业大学仪器科学与光电工程学院,合肥,230009 |
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| 摘 要： | 基于菲涅尔衍射理论推导并行共聚焦系统的两种常用光路(显微与远心)的三维相干成像公式,发现两者在傍轴近似条件下并行探测能力没有明显区别,并且这一结果得到了实验证实.但是显微光路离轴探测光场在物面和图像面存在横向漂移,漂移随着离轴和离焦程度增加而增加.干扰了系统的轴向探测能力并且使正焦辨识过程复杂化,影响系统的测量效率;远心光路由于不存在探测光场的横向漂移,以及较好的结构可靠性使系统精度易于保证,应该成为构建并行共聚焦微结构探测系统的首选.
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| 关 键 词： | 并行共聚焦 3-D点扩散函数 显微 远心 微结构 |
Research on optical structures in parallel confocal system for detecting 3-D profile of micro-structure |
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| Liu Wenwen,Yu Xiaofen,Yu Qing,Bi Meihua.Research on optical structures in parallel confocal system for detecting 3-D profile of micro-structure[J].Chinese Journal of Scientific Instrument,2009,30(6). |
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| Authors: | Liu Wenwen Yu Xiaofen Yu Qing Bi Meihua |
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