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氮离子注入的SOI研究与进展

作者姓名：	邓超丹郑宜钧

作者单位：	无锡微心子联合公司科研中心(邓超丹)，无锡微心子联合公司科研中心(郑宜钧)

摘要：	本文综述大剂量注入氮离子的SOI技术及共新近进展,并与大剂量注入氧离子的SOI技术作了比较,指出了氮SOI的研究方向,探讨了注氮SOI的形成机理。
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