| 实时扫描非接触测量表面微观轮廓仪 |
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| 引用本文： | 杨甬英,徐敏.实时扫描非接触测量表面微观轮廓仪[J].浙江大学学报(自然科学版 ),1999,33(3):317-322. |
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| 作者姓名： | 杨甬英 徐敏 |
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| 作者单位： | 浙江大学现代光学仪器国家重点实验室 |
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| 摘 要： | 介绍了一种利用非接触式方法实时扫描测量精密元件表面轮廓的技术，同时研究了研制了计算机自动控制的多功能表面轮廓仪，该仪器可对各种超光滑球面及平面进行平移和旋转的实时扫描采样，利用干涉共模抑制技术，有效抑制了各种噪声，测量数据可靠，实时显示表面轮廓参数及轮廓图，仪器横向分辨率为１μｍ，纵向分辨率为０．１ｎｍ。
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| 关 键 词： | 干涉术 非接触测量 表面粗糙度 表面微观轮廓仪 |
Profiler of surface of non contact testing with real time scanning style |
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| YANG Yong ying,XU Ming,ZHUO Yong mo.Profiler of surface of non contact testing with real time scanning style[J].Journal of Zhejiang University(Engineering Science),1999,33(3):317-322. |
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| Authors: | YANG Yong ying XU Ming ZHUO Yong mo |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | interferometry profiler roughness |
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