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| 一种提升大容量反熔丝PROM成品率的置换修复技术 | |
| 作者姓名： | 李孝远 李达 孙博文 王艳东 罗春华 |
| 作者单位： | 深圳市国微电子有限公司 广东深圳518000 |
| 摘 要： | 针对存储单元的工艺成品率导致大容量反熔丝存储器件低成品率的问题,通过对该类器件成品率问题根源、常规解决措施和修复实现机理的研究分析,提出一种面积、成本更优的置换修复结构设计.并基于大容量抗辐照PROM器件,对该置换修复机理和电路实现进行了详细介绍.通过实践项目验证,采用该冗余设计结构的大容量抗辐照PROM器件,成品率可... |
| 关 键 词： | PROM 抗辐照加固 置换修复 成品率 反熔丝 |
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