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国内外半导体级多晶硅生产技术差距分析
作者姓名:
杨亮
于跃
陈远新
陈欢欢
摘 要:
随着我国多晶硅生产技术的不断进步,半导体级多晶硅生产技术水平与国外的整体差距也在不断缩小,并在某些方面可比肩国际一流企业水平。由于国内从事大规模半导体级多晶硅生产技术研究起步较晚,相比于深耕几十年的国外一流企业,在某些细节上依然存在差距,本文主要从技术指标、关键设备材料、生产运营理念等方面分析其存在的差距。
关 键 词:
半导体级多晶硅
生产技术
差距
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