水平液相外延设备控制系统研究与设计

液相外延（LPE）是制备碲镉汞（HgCdTe）薄膜的主流工艺技术，也是Hg CdTe红外焦平面器件制造的最关键工序，目前国外发达国家生产的LPE设备已经对我国禁运。为了实现LPE设备的国产替代，我们对设备进行研究，设计了一套满足高精度温度控制、工艺压力控制、自动拉舟等要求的控制系统，并详细介绍了该控制系统下位机和上位机软件的设计思路，并给出了相关的设计流程图。