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智能卡芯片产品失效分析样品制备技术
引用本文:董媛.智能卡芯片产品失效分析样品制备技术[J].中国集成电路,2022(11):68-70.
作者姓名:董媛
作者单位:北京中电华大电子设计有限责任公司射频识别芯片检测技术北京市重点实验室
摘    要:以智能卡芯片产品为例,介绍了四类失效分析样品制备技术,可用于指导失效分析制样种类选取和制样方法选取,能够满足大部分的失效分析制样需求。

关 键 词:失效分析技术  样品制备
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