| 5083铝合金绿色化学机械抛光液对表面粗糙度的影响及机理分析 |
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| 引用本文： | 宋晓明,张振宇,刘杰,李玉彪,赵仕程,徐光宏.5083铝合金绿色化学机械抛光液对表面粗糙度的影响及机理分析[J].表面技术,2022,51(5):345-353. |
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| 作者姓名： | 宋晓明 张振宇 刘杰 李玉彪 赵仕程 徐光宏 |
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| 作者单位： | 齐鲁工业大学机械工程学院,济南250353,齐鲁工业大学机械工程学院,济南250353;大连理工大学,辽宁大连116024,大连理工大学,辽宁大连116024 |
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| 摘 要： | 目的 为提高5083铝合金的表面质量，研制一种环境友好型化学机械抛光液，并分析5083铝合金化学机械抛光液对表面粗糙度的影响及作用机理。方法 使用绿色环保的化学机械抛光液对5083铝合金进行化学机械抛光。采用单因素控制变量法，分析不同的p H调节剂类型、p H值以及过氧化氢（H2O2）浓度对铝合金化学机械抛光后表面粗糙度的影响规律。采用电化学工作站，分析5083铝合金在不同抛光液中的静态腐蚀特性。运用X射线光电子能谱仪（XPS）分析5083铝合金在不同抛光液下表面元素化学组分的变化。结果 绿色环保抛光液的主要成分为去离子水、4%（质量分数）的二氧化硅磨粒、2.0%（质量分数）的H2O2和柠檬酸，并调节pH至3.0。5083铝合金进行化学机械抛光后，在70μm×50μm的扫描范围内铝合金表面粗糙度最低为0.929 nm。结论 电化学试验和XPS测试的分析表明，柠檬酸可加快抛光液对铝合金的腐蚀，H2O2使铝合金表面形成氧化层，减缓抛光液对铝合金的腐蚀。氧化层的主要成分为Al2O
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| 关 键 词： | 5083铝合金 化学机械抛光 绿色环保 表面粗糙度 机理分析 电化学分析 |
Effect and Mechanism Analysis of Green Chemical Mechanical Slurry on Surface Roughness of 5083 Aluminum Alloy |
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| SONG Xiao-ming,ZHANG Zhen-yu,LIU Jie,LI Yu-biao,ZHAO Shi-cheng,XU Guang-hong.Effect and Mechanism Analysis of Green Chemical Mechanical Slurry on Surface Roughness of 5083 Aluminum Alloy[J].Surface Technology,2022,51(5):345-353. |
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| Authors: | SONG Xiao-ming ZHANG Zhen-yu LIU Jie LI Yu-biao ZHAO Shi-cheng XU Guang-hong |
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| Affiliation: | School of Mechanical Engineering, Qilu University of Technology, Jinan 250353, China;School of Mechanical Engineering, Qilu University of Technology, Jinan 250353, China;Dalian University of Technology, Liaoning Dalian 116024, China |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | 5083 aluminum alloy chemical mechanical polishing green surface roughness mechanism analysis electrochemical analysis |
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