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软X射线激光用分束镜研究
引用本文:王占山,唐伟星,吴永刚,秦树基,陈玲燕,徐向东,洪毅麟,付绍军,朱杰,崔启明.软X射线激光用分束镜研究[J].北京同步辐射装置年报,2002(1):190-193.
作者姓名:王占山  唐伟星  吴永刚  秦树基  陈玲燕  徐向东  洪毅麟  付绍军  朱杰  崔启明
作者单位:[1]同济大学精密光学工程技术研究所物理系,上海200092 [2]中国科技大学同步辐射国家重点实验室,合肥230029 [3]中科院高能物理研究所同步辐射室,北京100039
摘    要:软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过马赫-詹德干涉仪完成的,是测量驱动激光临界面附近等离子体状态的重要方法。本基于软X射线多层膜的性能特点,指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好,分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准。用离子束溅射法制作了类镍银13.9nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜,实测表明其面形精度达到纳米量级,反射率和透过率乘积大于1.6%。

关 键 词:软X射线干涉测量  分束镜  激光  多层膜  等离子体  入射角  反射率  透过率  离子束溅射法
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