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| 软X射线激光用分束镜研究 | |
| 作者姓名： | 王占山 唐伟星 吴永刚 秦树基 陈玲燕 徐向东 洪毅麟 付绍军 朱杰 崔启明 |
| 作者单位： | [1]同济大学精密光学工程技术研究所物理系，上海200092 [2]中国科技大学同步辐射国家重点实验室，合肥230029 [3]中科院高能物理研究所同步辐射室，北京100039 |
| 摘 要： | 软X射线干涉测量是通过软X射线激光经过马赫-詹德干涉仪完成的，是测量驱动激光临界面附近等离子体状态的重要方法。本基于软X射线多层膜的性能特点，指出软X射线干涉测量的干涉仪各光学元件的入射角越接近正入射越好，分束镜的设计应以其反射率和透过率的乘积为衡量标准。用离子束溅射法制作了类镍银13．9nm软X射线激光干涉测量所需的分束镜，实测表明其面形精度达到纳米量级，反射率和透过率乘积大于1．6％。 |
| 关 键 词： | 软X射线干涉测量 分束镜 激光 多层膜 等离子体 入射角 反射率 透过率 离子束溅射法 |
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