| 基于非硅表面微加工的MEMS惯性开关设计与动力学仿真 |
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| 引用本文： | 杨卓青,丁桂甫,蔡豪刚,付世,赵小林.基于非硅表面微加工的MEMS惯性开关设计与动力学仿真[J].功能材料与器件学报,2008,14(3):629-633. |
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| 作者姓名： | 杨卓青 丁桂甫 蔡豪刚 付世 赵小林 |
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| 作者单位： | 上海交通大学微纳科学技术研究院,薄膜与微细技术教育部重点实验室,微米纳米加工技术国家级重点实验室,上海,200030 |
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| 基金项目： | 国家高技术研究发展计划(863计划)
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国家重点基础研究发展计划(973计划) |
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| 摘 要： | 基于非硅表面微加工技术,设计了一种新的MEMS微型惯性电学开关.较厚的质量块可动电极和位于其上方悬空的弹性梁固定电极,不但有利于提高开关器件的触发灵敏度和接触效果,而且可避免质量块和弹簧过多偏离对器件造成的损坏.对所设计开关进行了有限元动态接触仿真,结果表明开关在100g加速度作用下的响应时间和接触时间分别约为0.24ms和10μs,表现出较高的触发灵敏度和良好的接触效果,随加速度的增加惯性开关的响应时间减小,两电极的接触时间增加.
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| 关 键 词： | 微型惯性开关 非硅表面微加工 设计 动力学仿真 |
Design and dynamics simulation of MEMS inertia micro -switch based on non - silicon surface micromachining |
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| YANG Zhuo-qing,DING Gui-fu,CAI Hao-gang,FU Shi,ZHAO Xiao-lin.Design and dynamics simulation of MEMS inertia micro -switch based on non - silicon surface micromachining[J].Journal of Functional Materials and Devices,2008,14(3):629-633. |
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| Authors: | YANG Zhuo-qing DING Gui-fu CAI Hao-gang FU Shi ZHAO Xiao-lin |
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