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晶圆级封装技术的发展
作者姓名:戴锦文
作者单位:南通富士通微电子股份有限公司
摘    要:晶圆级封装(wafer level package,WLP)具有在尺寸小、电性能优良、散热好、性价比高等方面的优势,近年来发展迅速。本文概述了WLP封装近几年的发展情况,介绍了它的工艺流程,得以发展的优势,并说明了在发展的同时,存在着一些标准化、成本、可靠性等问题,最后总结了WLP技术的发展趋势及前景。

关 键 词:晶圆级封装  综述  可靠性  前景
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