超精密平面磨削0.1μm微量进给装置的实验研究

微量进给可满足可延性磨削的要求，微量进给装置采用压电陶瓷作为控制元件，通过调节空气轴承供气压力，实现超精密平面磨削０．０１μｍ的微进给量，实验表明该装置可用于磨床导轨误差的缓进给补偿控制中。