| InSb混合红外焦平面工艺研究 |
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| 引用本文： | 张星灿,田种运,雷胜琼.InSb混合红外焦平面工艺研究[J].红外技术,1991(6). |
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| 作者姓名： | 张星灿 田种运 雷胜琼 |
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| 作者单位： | 昆明物理研究所 昆明 |
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| 摘 要： | InSb 光伏线列器件是以 n 型 InSb 为衬底,扩散 Cd 形成 p-n 结,经光刻、蒸电极、焊接等工艺制成。SiCCD 为表面 p 沟器件,可按延时积分(TDI)和多路传输(MUX)两种方式工作。在研制1×12、2×12、1×64、2×64元 InSb 光伏线列器件并与 SiCCD 进行互连的基础上,从开发64×64元 InSb 混合红外焦平面着眼,我们进行了64×16元 InSb 光伏面阵的研制,并在 InSb 面阵和 Si 上电镀 In 柱,用我们研制的 HDD-1型红外对准倒焊机进行了对焊,开展了背面辐照 InSb 混合红外焦平面的工艺研究。本文介绍了工艺实验状况,并对工艺实验中有关问题进行了讨论。
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| 关 键 词： | InSb 光伏列阵 混合红外 |
Technology Study on InSb Hybrid Infrared Focal Plane Array (FPA) |
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| Zhang Xingcan Tian Zhongyun Lei Shengqiong.Technology Study on InSb Hybrid Infrared Focal Plane Array (FPA)[J].Infrared Technology,1991(6). |
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| Authors: | Zhang Xingcan Tian Zhongyun Lei Shengqiong |
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| Abstract: | |
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| Keywords: | InSb Photovoltaic array Hybrid infrared Focal Plane Array |
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