| 热分解气氛对溶胶-凝胶法制备BLT铁电薄膜性能的影响 |
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| 引用本文： | 李建军,于军,李佳,王耘波,高俊雄,周文利. 热分解气氛对溶胶-凝胶法制备BLT铁电薄膜性能的影响[J]. 功能材料, 2008, 39(3): 376-378 |
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| 作者姓名： | 李建军 于军 李佳 王耘波 高俊雄 周文利 |
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| 作者单位： | 华中科技大学,电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;华中科技大学,电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;华中科技大学,电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;华中科技大学,电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;华中科技大学,电子科学与技术系,湖北,武汉,430074;华中科技大学,电子科学与技术系,湖北,武汉,430074 |
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| 摘 要： | 研究了热分解气氛对溶胶-凝胶法制备在Pt/Ti/SiO2/Si衬底上的Bi3.25La0.75Ti3O12 (BLT)薄膜铁电性能的影响.在400℃时空气或氧气气氛下热分解20min,接着在700℃时氧气气氛下退火30min.氧气气氛下的热分解能充分分解掉薄膜中的有机成分,而空气气氛下的热分解使炭、氢有机成分部分残留在薄膜中.有机成分的不完全分解影响了退火过程中BLT薄膜晶化时晶粒的生长.表现出生长取向和晶粒尺寸对BLT薄膜铁电性能的影响.氧气和空气气氛下热分解的薄膜的剩余极化(Pr)和矫顽电场(Ec)分别为18.85μC/cm2,119.7kV/cm和12.56μC/cm2、112.5kV/cm.氧气气氛下热分解的薄膜的剩余极化值显著提高.所以热分解是控制铁电性能的重要步骤.
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| 关 键 词： | BLT薄膜 溶胶-凝胶 热分解 |
| 文章编号： | 1001-9731（2008）03-0376-03 |
| 收稿时间： | 2007-07-25 |
| 修稿时间： | 2007-10-31 |
Effect of pyrolysis atmosphere on properties of BLT ferroelectric films deposited by sol-gel method |
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| LI Jian-jun,YU Jun,LI Jia,WANG Yun-bo,GAO Jun-xiong,ZHOU Wen-li. Effect of pyrolysis atmosphere on properties of BLT ferroelectric films deposited by sol-gel method[J]. Journal of Functional Materials, 2008, 39(3): 376-378 |
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| Authors: | LI Jian-jun YU Jun LI Jia WANG Yun-bo GAO Jun-xiong ZHOU Wen-li |
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| Keywords: | BLT film sol-gel pyrolysis |
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