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扩散硅精密数字压力计
作者姓名:张秀珍 杨魁
作者单位:差动变压器式应变仪,哈尔滨工业大学威海分校
摘    要:在压力的精密测量领域采用智能仪表是目前的发展方向。本文介绍了新研制的KSY型扩散硅数字压力计的工作原理、性能指标及温度补偿措施。

关 键 词:扩散硅 压力计 传感器 压力传感器
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