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| 256×256元IRCCD的设计及灵敏度改善 | |
| 引用本文： | 刘俊刚.256×256元IRCCD的设计及灵敏度改善[J].半导体光电,1993,14(3):288-292,300. |
| 作者姓名： | 刘俊刚 |
| 作者单位： | 重庆光电技术研究所 高级工程师 |
| 摘 要： | 叙述了256×256元PtSi肖特基势垒红外焦平面的工作原理和设计考虑。器件采用四相ITCCD结构。像元尺寸和填充系数分别为60×50(μm~2)和35％。采用薄金属膜和光腔结构改善了器件的灵敏度。势垒高度为0.22ev,相应的截止波长为5.6μm。在室温目标下,用该器件摄得了较好的红外图像。 |
| 关 键 词： | 红外焦平面 灵敏度 电荷耦合器件 |
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