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| 长度、角度及三维测量光栅技术的某些进展与分析 | |
| 引用本文： | 黄尚廉.长度、角度及三维测量光栅技术的某些进展与分析[J].光学仪器,1980(1). |
| 作者姓名： | 黄尚廉 |
| 作者单位： | 重庆大学光电精密机械研究所 |
| 摘 要： | <正> 计量光栅技术,作为精确的长度与角度的数字测量、数字控制、自动测量与动态测试的强有力手段,在科学技术各方面的应用日益广泛,近年来又登上三维测量的午台,研究十分活跃。本文力图综述光栅技术在长度、角度以及三维测量方面的某些进展,并加以初步分析与评价。一、高精度光栅传感器:光栅测量系统的精度,是整个系统光学、电子学以及机械特性的函数。近十年来,由于在计量光栅制造、光栅传感器,电 |
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