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| 256元InGaAs线列红外焦平面及扫描成像 | |
| 引用本文： | 吕衍秋,韩冰,白云,徐萌,唐恒敬,孔令才,李雪,张永刚,龚海梅.256元InGaAs线列红外焦平面及扫描成像[J].红外与毫米波学报,2008,27(1):7-11. |
| 作者姓名： | 吕衍秋 韩冰 白云 徐萌 唐恒敬 孔令才 李雪 张永刚 龚海梅 |
| 作者单位： | 1. 中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083;中国科学院研究生院,北京,100039 2. 中国科学院上海技术物理研究所,上海,200083 3. 中国科学院上海微系统与信息技术研究所,上海,200050 |
| 摘 要： | 报道了用分子束外延(MBE)方法生长掺杂InGaAs的PIN InP/InGaAs/InP外延材料,通过台面制作、硫化处理、ZnS/聚酰亚胺双层钝化、电极生长等工艺,制备了256元正照射台面InGaAs线列探测器,278K时平均峰值探测率为1.33×1012 cmHz1/2W-1.测试了不同钝化方式探测器典型Ⅰ-Ⅴ曲线和探测率,硫化可以减小探测器暗电流,ZnS/聚酰亚胺双层钝化效果最好.并对ZnS/聚酰亚胺双层钝化InGaAs探测器进行了电子辐照研究.256元InGaAs探测器阵列与两个CTIA结构128读出电路互连并封装,在室温时,焦平面响应率不均匀性为19.3%.成功实现了室温扫描成像,图像比较清晰. |
| 关 键 词： | 探测器 焦平面 InGaAs 钝化 扫描成像 |
| 文章编号： | 1001-9014（2008）01-0007-05 |
| 收稿时间： | 2007-03-13 |
| 修稿时间： | 2007-12-18 |
256 ELEMENT InGaAs LINEAR IR FOCAL PLANE ARRAY AND SCANNING IMAGE |
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| LV Yan-Qiu,HAN Bing,BAI Yun,XU Meng,TANG Heng-Jing,KONG Ling-Cai,LI Xue,ZHANG Yong-Gang,GONG Hai-Mei.256 ELEMENT InGaAs LINEAR IR FOCAL PLANE ARRAY AND SCANNING IMAGE[J].Journal of Infrared and Millimeter Waves,2008,27(1):7-11. | |
| Authors: | LV Yan-Qiu HAN Bing BAI Yun XU Meng TANG Heng-Jing KONG Ling-Cai LI Xue ZHANG Yong-Gang GONG Hai-Mei |
| Abstract: | |
| Keywords: | detector focal plane array InGaAs passivation scanning image |
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